반응형 진공2 진공을 형성하는 방법에 대해 알아보자!(feat. 반도체공정) 안녕하세요. 훈릴스입니다. 오늘은 진공을 형성하는 vacuum pumps에 대해 알아보는 시간을 가져보고자 합니다. 앞 포스팅에서는 진공의 기초적인 개념에 대해 알아보았습니다. 이번 포스팅에서는 진공을 형성하는 여러가지 원리와 방법에 대해 알아보고자 합니다. 진공을 형성하는 방법은 무척이나 다양합니다. 진공의 종류에 따라서 수십가지나 시중에 진공 펌프가 출시되어 있으니 말이죠. 이런 진공펌프를 하나하나 분석해보도록 합시다. 가장 우선적으로 알아볼 것은 Rotary Pump입니다. Rotary Pump의 스펙은 다음과 같습니다. - 압력 범위 : 760 ~ \(10^{-3}\) torr - 비교적 저압에서 기계의 효율이 우수합니다. - trap을 설치하지 않으면 펌프를 통해 역으로 공간 안 속에 공기가 유.. 2022. 2. 12. 진공(vacuum)이란 무엇인가? 안녕하세요. 훈릴스입니다. 오늘은 진공에 대해서 같이 한 번 알아보는 시간을 가져보고자 합니다. 반도체 공정 장비에서는 정말 진공에 대해 많이 이야기가 나오는데요. 진공은 무엇이며 어떠한 원리로 작용하는지 알아보고자 합니다. 저도 골머리를 앓고 학습한 경험이 있기 때문에 방문자 분들 알기 쉽게끔 잘 정리해서 설명해보고자합니다. 우선 진공을 논하기에 앞서 압력에 대해서 이야기해봅시다. 압력은 단위 면적당 가해지는 힘입니다. 모든 표현법은 단위면적당 가해지는 힘을 기본으로 나타내는데, SI 단위계로는 \(N/m^2\)을 사용합니다. 진공에서는 압력을 단위로 사용합니다. 압력에 따라 저진공 / 중진공 / 고진공 / 초고진공으로 나뉩니다. 기체는 작은 입자로 이루어져있습니다. 그리고 이 작은 입자들은 끊임없이 .. 2022. 2. 12. 이전 1 다음 반응형
