반응형 turbomolecular pump1 진공을 형성하는 방법에 대해 알아보자!(feat. 반도체공정) 안녕하세요. 훈릴스입니다. 오늘은 진공을 형성하는 vacuum pumps에 대해 알아보는 시간을 가져보고자 합니다. 앞 포스팅에서는 진공의 기초적인 개념에 대해 알아보았습니다. 이번 포스팅에서는 진공을 형성하는 여러가지 원리와 방법에 대해 알아보고자 합니다. 진공을 형성하는 방법은 무척이나 다양합니다. 진공의 종류에 따라서 수십가지나 시중에 진공 펌프가 출시되어 있으니 말이죠. 이런 진공펌프를 하나하나 분석해보도록 합시다. 가장 우선적으로 알아볼 것은 Rotary Pump입니다. Rotary Pump의 스펙은 다음과 같습니다. - 압력 범위 : 760 ~ \(10^{-3}\) torr - 비교적 저압에서 기계의 효율이 우수합니다. - trap을 설치하지 않으면 펌프를 통해 역으로 공간 안 속에 공기가 유.. 2022. 2. 12. 이전 1 다음 반응형
