반응형 식각공정1 반도체 집적 공정(feat. 8대 공정 - 식각 공정 기초) 안녕하세요. 베어훈릴스입니다. 오늘은 제 전공분야인 재료공학과 관련된 얘기를 한 번 해볼까해요. 저번 학기에 박막 및 재료라는 과목을 수강하였습니다. 박막 및 재료라는 과목에서 제가 배운 것은 반도체 공정과 박막 공정 및 재료입니다. 이러한 내용을 차근차근 처음부터 정리하면, 이러한 과목을 수강하시거나 정보를 원하시는 분께 큰 도움이 될 것 같아서 하나부터 열까지 차근차근 정리해보고자 합니다. 그러면 이제부터 시작해보도록 하겠습니다. 우선 반도체 공정 중 cleaning 방법에 대해 한 번 알아봅시다. Photo 공정을 위해서는 Photo resist를 박막위에 도포하는 것은 관련 전공자라면 모두들 알고 계실거라 생각합니다. 여기서 Photo resist는 용매와 용질 그리고 감광제 등으로 이루어져 있습.. 2022. 2. 11. 이전 1 다음 반응형
